18日，科技日報記者從江南大學獲悉，由該校物聯(lián)網工程學院顧曉峰、肖少慶教授等組成的科研團隊(低維半導體材料與器件實驗室)，通過多年反復研究與試驗，提出了一種具有普適性的氫氣輔助反向氣流化學氣相外延法，實現(xiàn)了多種TMDs及其合金高質量雙層單晶的大范圍可控生長。相關研究成果，日前在線發(fā)表在《自然·通訊》上。

“目前，用于基礎研究和光電應用的雙層及多層TMDs多來自于機械剝離法以及后處理方法，如：激光刻蝕、等離子體刻蝕和熱退火等，普遍存在產率低、層數(shù)和尺寸可控性差等問題。雖有少數(shù)工作采用化學氣相沉積(CVD)法制備出雙層及多層TMDs，但仍存在晶體質量差、尺寸和層數(shù)不可控等問題。”顧曉峰說。

肖少慶介紹，要解決相關制備問題難度很大。根據(jù)生長動力學理論，雙層單晶的生長至少需要兩個不同溫度的生長階段來促使單層的垂直高階堆垛，但是在傳統(tǒng)CVD升溫階段過程中，對前驅反應氣體的控制不良通常會導致形成不可控和不需要的成核中心，進而顯著降低所制備晶體的質量和可控性。

“我們提出的一種具有普適性的氫氣輔助反向氣流化學氣相外延法，通過在升溫階段引入氫氣反向氣流并控制生長溫度梯度，不僅有利于減少外延生長時不需要、不可控的成核中心，而且有利于源自第一單層成核中心的第二單層的均質外延。”肖少慶說，這種方法的效率遠超機械剝離法和傳統(tǒng)的CVD方法，并在三層及多層單晶的逐層可控制備方面展現(xiàn)出巨大的潛力。同時，通過控制第二層的生長溫度可以得到不同堆垛的雙層TMDs單晶如AA堆垛和AB堆垛的二硫化鉬(MoS2)。實驗結果發(fā)現(xiàn)AA堆垛的雙層MoS2具有比單層更高的場效應管遷移率;通過采用多種源粉首次合成了MoWSSe四元合金雙層單晶，實驗結果表明其場效應晶體管表現(xiàn)出明顯的雙極性特征。 (過國忠 陸敏芝)

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